Transfert de microlentilles par gravure plasma pour les technologies imageurs H/F (Technologies micro et nano)

Description de l'offre

Domaine : Technologies micro et nano

Contrat : Stage

Description du poste :

Le travail, à dominante expérimentale, se déroulera majoritairement en salle blanche sur des équipements acceptant des substrats de 300mm de diamètre. Il portera sur le développement et l’optimisation de procédés de gravure  de couche carbonées et/ou minérales (nitrure de silicium). Après une étude bibliographique, le travail demandé consistera à sélectionner puis étudier l’influence des paramètres pertinents de la gravure tels que la nature des différents gaz, la puissance injectée dans le plasma, la pression ou encore la température. En parallèle, diverses techniques de caractérisation des couches minces comme l’ellipsométrie, la microscopie électronique à balayage ou encore à force atomique seront utilisées afin de caractériser la vitesse et l’uniformité de la gravure ainsi que la forme des motifs transférés dans la couche constituant les microlentilles.
L’objectif de ce projet de fin d’étude de 6 mois est de définir les paramètres du procédé permettant de contrôler le profil des motifs transférés (forme et dimensions critiques) tout en assurant leur reproductivité et leur uniformité à l’échelle du substrat.


Ingénieur ou Master2

Ville : Grenoble

Langue / Niveau :

Anglais : Intermédiaire