Cadre et contexte :

Dans le domaine des MEMS (MicrosystEMes Electromécaniques), différents types d’actionnements peuvent être utilisés. Les plus répandus étant les actionnements de type électrostatiques, électromagnétiques, thermiques et piézoélectriques. Au sein du CEA/LETI, une forte expertise existe, en particulier, sur ce dernier type d’actionnement. Il présente de nombreux avantages tels qu’une faible consommation, une densité de force importante, une forte compacité et une large gamme fréquentielle, mais il reste cependant limité à des débattements faibles (de l’ordre de 10 μm).

Travail demandé :

- Réaliser une étude bibliographique (état de l’art, publications et brevets) des MEMS amplifiés hydrauliquement. Une attention particulière sera portée sur la propriété industrielle, et l’intérêt de ce type d’actionnement pour les différentes applications envisagées

- Participer à la fabrication du composant MEMS. Pour cela, le/la stagiaire participera aux développements des trois briques clés à ce démonstrateur, à savoir, le dépôt de la membrane flexible, le remplissage de la cavité hydraulique de l’actionneur et le scellement de cette cavité par collage. Différents types de membrane, colle et liquide seront étudiés. Le/la stagiaire aura, notamment, à développer et optimiser un banc de remplissage des cavités existantes. Ces développements seront effectués par le stagiaire dans les salles blanches du CEA.

- Participer aux caractérisations des composants fabriqués. Le facteur d’amplification de l’actionneur piézohydraulique sera ainsi un des paramètres clés de cette phase de caractérisation.

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