Les offres de “CEA”

Il y a 41 joursCEA

Stage:Développement de procédés de gravure chimique de couches de Si et SiGe H/F

  • Stage
  • Grenoble (Isère)
  • Conception / Génie civil / Génie industriel

Description de l'offre

Détail de l'offre

Informations générales

Entité de rattachement

Le Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) est un organisme public de recherche.

Acteur majeur de la recherche, du développement et de l'innovation, le CEA intervient dans le cadre de ses quatre missions :
. la défense et la sécurité
. l'énergie nucléaire (fission et fusion)
. la recherche technologique pour l'industrie
. la recherche fondamentale (sciences de la matière et sciences de la vie).

Avec ses 16000 salariés -techniciens, ingénieurs, chercheurs, et personnel en soutien à la recherche- le CEA participe à de nombreux projets de collaboration aux côtés de ses partenaires académiques et industriels.

Référence

2021-18936

Description de l'unité

A Grenoble, au centre des Alpes, le LETI est un institut de recherche appliquée en micro et nano technologies, technologies de l'information et de la santé.
Interface privilégiée du monde industriel et de la recherche académique, il assure chaque année le développement et le transfert de technologies innovantes dans des secteurs variés via des programmes de recherche utilisant nos plateformes technologiques.

Description du poste

Domaine

Matériaux, physique du solide

Contrat

Stage

Intitulé de l'offre

Stage:Développement de procédés de gravure chimique de couches de Si et SiGe H/F

Sujet de stage

Développement de procédés de gravure chimique de couches de Si et SiGe pour la fabrication de transistors MOS à base de Nanofils verticaux.

Afin de poursuivre la réduction des dimensions des dispositifs CMOS, l'introduction de nouvelles architectures et de nouveaux matériaux dans l'empilement des transistors s'impose. Dans ce contexte, les transistors MOS à base de Nanofils verticaux en Silicium ou les alliages SixGe1-x se positionnent comme des candidats très prometteurs. Leur réalisation engendre néanmoins de nouvelles problématiques d'intégration qui se traduisent notamment par la nécessité de développer de nouveaux procédés de gravure.

Durée du contrat (en mois)

6 max

Description de l'offre

Ce stage aura pour objectif le développement de procédés de gravure chimique pour les matériaux IV-IV tels que le Si et SixGe1-x. Ce stage ingénieur/master se déroulera dans l'environnement salle blanche 300mm du LETI et comprendra les axes d'étude suivants: en se basant sur le benchmark de chimies classiquement référencées dans la littérature pour la gravure des matériaux Si et SixGe1-x,

1.l'influence des paramètres tels que le pourcentage de Ge et le dopage des couches épitaxiées sur les cinétiques de gravure sera tout d'abord évaluée;
2. l'impact des traitements chimiques sur la morphologie de surface des couches d'intérêt sera ensuite étudié, en utilisant les outils de caractérisations adaptés (AFM, MEB,…).

3. Les procédés de gravure jugés les plus prometteurs (ie permettant l'obtention des meilleurs facteurs de sélectivité) seront ensuite intégrés dans le processus de fabrication de transistors à base de nanofils verticaux.

Vous travaillerez de manière transverse avec les équipes procédé et caractérisation. Votre autonomie sera essentielle pour profiter au mieux de la variété des compétences disponibles au LETI. De bonnes connaissances en matériaux/chimie et en caractérisation physico-chimiques seront nécessaires pour aborder cette problématique. Des notions de micro-électronique, notamment sur les techniques de fabrication utilisées dans ce domaine, seront un plus. Vous serez également attendu sur votre capacité à rendre compte de votre travail régulièrement par des présentations et rapports.

Envoi des CV et LM : virginie.loup@cea.fr

Profil recherché

Profil du candidat

Ingénieur ou Master2 matériaux, procédés technologiques, gravure chimique, nano caractérisation.

Faire de chaque avenir une réussite.
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