Les matériaux utilisés dans la spintronique sont principalement à base de Co, Fe et Ni. Une forte anisotropie magnétique doit être induite pour créer l'orientation privilégiée dans certaines couches magnétiques fonctionnelles. L’utilisation actuelle de structures complexes impliquant des métaux nobles (en particulier Pt, couteux) est un verrou important à une diffusion large de technologie comme les mémoires STTRAM ou les capteurs magnétiques. La réalisation de structures damascènes 3D à forte anisotropie de forme en matériau magnétique par des techniques de la microélectronique comme le dépôt électrolytique (ECD) ou la pulvérisation cathodique (PVD) permettrait donc une rupture technologique importante pour des électrodes magnétiques à champ perpendiculaires.

Dans le cadre de ce stage, l’étude de croissance de dépôt de Cobalt par électrolyse (ECD) en via à fort facteur de forme sera étudiée sur un des équipements de dépôt ECD en collaboration avec un fournisseur de chimie. On visera l’introduction de méthodes de croissance optimisées pour l’obtention de structures conductrices à base de cobalt ayant les résistivités les plus basses possibles tout en apportant des avantages supplémentaires (conformité du dépôt en corrélation avec les aspect ratio des cavités, présence de void ou non, type de sous couches, propriétés magnétiques des films).

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