Modification structurale de films minces diélectriques par recuit laser nanoseconde H/F
Stage Grenoble (Isère) Développement informatique
Description de l'offre
Détail de l'offre
Informations générales
Entité de rattachement
Le Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) est un organisme public de recherche.Acteur majeur de la recherche, du développement et de l'innovation, le CEA intervient dans le cadre de ses quatre missions :
. la défense et la sécurité
. l'énergie nucléaire (fission et fusion)
. la recherche technologique pour l'industrie
. la recherche fondamentale (sciences de la matière et sciences de la vie).
Avec ses 16000 salariés -techniciens, ingénieurs, chercheurs, et personnel en soutien à la recherche- le CEA participe à de nombreux projets de collaboration aux côtés de ses partenaires académiques et industriels.
Référence
2019-10468Description du poste
Domaine
Technologies micro et nano
Contrat
Stage
Intitulé de l'offre
Modification structurale de films minces diélectriques par recuit laser nanoseconde H/F
Sujet de stage
Les traitements thermiques pour la microélectronique n'ont cessé d'évoluer vers des durées de plus en plus courtes, passant de l'heure à la seconde puis à la milliseconde. La prochaine génération encore en phase de développement repose sur un laser UV nanoseconde. Cette technologie permet des recuits ultra-courts, à très haute température et surtout localisés à l'extrême surface. Ces caractéristiques rendent le recuit laser nanoseconde particulièrement adapté à la fabrication de composants intégrés en 3D et nécessitant des recuits des couches supérieures sans dégrader la performance des structures enterrées quelques dizaines de nanomètres plus bas. L'impact du recuit laser nanoseconde sur les différents matériaux embarqués dans les circuits intégrés fait l'objet d'études approfondies
Durée du contrat (en mois)
4 à 6 mois
Description de l'offre
Le stage consistera à étudier les principaux effets d’un recuit laser nanoseconde sur plusieurs matériaux diélectriques (nitrures et oxydes de silicium essentiellement) déposés en couches minces à basse température et pressentis pour une intégration 3D. Le travail commencera par la préparation des échantillons et le recuit laser sous différentes conditions. Ensuite, plusieurs caractérisations optiques (ex: ellipsométrie), structurales (ex: spectroscopie IR), voire électriques seront mises en œuvre pour faire ressortir les modifications induites par le traitement par laser. Le travail sera effectué dans les salles blanches du LETI sur des équipements industriels.
Pour postuler à cette offre, merci de contacter Mr KERDILES Sébastien à l'adresse suivante : sebastien.kerdiles@cea.fr
Profil recherché
Profil du candidat
3ème année d'école d'ingénieur ou en Master 2.
Compétences souhaitées : science des matériaux, technologies de la microélectronique, curiosité et rigueur, maîtrise de l'anglais, goût certain pour l'expérimentation.