Les moules souples utilisées en lithographie par nano impression peuvent réduire l'impact des particules sur la défectivité. Néanmoins, le moule doit être suffisamment rigide pour assurer un écoulement de la résine lors de la création du pattern. Si le moule est trop souple, celui-ci peut flamber sous la contrainte induit par l'impression au contact et induire ainsi une mauvaise réplication du pattern. Pour optimiser le procédé, il faut donc déterminer les dimensions qui peuvent être répliquées dans la résine pour un moule donné. Actuellement, cette détermination est empirique quand les propriétés mécaniques du moule sont inconnues. Pour les déterminer, la microcopie à force atomique est un outil de choix de par sa sensibilité et sa résolution spatiale.

Travail demandé :

- Fabriquer les moules en salle blanche dans le cadre d'un partenariat industriel.

- Caractériser les moules ainsi obtenus par AFM via des mesures mécaniques à l'échelle locale

- Définir un protocole complet de test : méthodologie, exploitation des données..

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