Alternance:Evaluation de la capacité de décontamination métallique de solutions chimiques H/F
Stage Grenoble (Isère) Conception / Génie civil / Génie industriel
Description de l'offre
Détail de l'offre
Informations générales
Entité de rattachement
Le Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) est un organisme public de recherche.Acteur majeur de la recherche, du développement et de l'innovation, le CEA intervient dans le cadre de ses quatre missions :
. la défense et la sécurité
. l'énergie nucléaire (fission et fusion)
. la recherche technologique pour l'industrie
. la recherche fondamentale (sciences de la matière et sciences de la vie).
Avec ses 16000 salariés -techniciens, ingénieurs, chercheurs, et personnel en soutien à la recherche- le CEA participe à de nombreux projets de collaboration aux côtés de ses partenaires académiques et industriels.
Référence
2020-13001Description de l'unité
L'innovation en microélectronique amène à l'introduction toujours croissante de matériaux « exotiques ». Cette tendance est peu compatible avec les critères drastiques de gestion de la contamination pour le bon fonctionnement des dispositifs. Dans ce cadre, le LETI a développé depuis plusieurs années une solide expertise dans les procédés de décontamination métallique des substrats de silicium par voie humide.
Le procédé actuellement utilisé au LETI a su démontré son efficacité vis-à-vis d'un maximum d'éléments, et sécurisé au mieux les partages d'équipements en salle blanche. Néanmoins, la chimie chlorée utilisée dans une étape de la séquence du procédé de décontamination provoque le vieillissement accéléré des équipements en raison de son caractère extrêmement corrosif.
Description du poste
Domaine
Technologies micro et nano
Contrat
Alternance
Intitulé de l'offre
Alternance:Evaluation de la capacité de décontamination métallique de solutions chimiques H/F
Sujet de stage
Evaluation de la capacité de décontamination métallique de solutions chimiques innovantes pour des applications MEMs, «Moore» et «More than Moore»
Durée du contrat (en mois)
10 à 12 mois
Description de l'offre
En collaboration avec un industriel fabricant de produits chimiques et son groupe de R&D, le sujet de stage portera sur l'identification et la sélection de plusieurs chimies puis l'évaluation de leur capacité de retrait d'une large gamme d'éléments métalliques. Un focus sera notamment fait sur la réactivité de ces solutions chimiques innovantes vis-à-vis des métaux nobles (Au, Pt, Pd). De nombreuses techniques de caractérisation seront mises en œuvre: TXRF et VPD-ICPMS (mesures de la contamination métallique), ellipsométrie ou mesures de résistivité (consommation des chimies sur matériaux diélectriques et couches métalliques), AFM, MEB (mesures de rugosité surfacique et observations microscopiques sur plaques exposées aux chimies)… l'objectif final étant la proposition d'une séquence de décontamination alternative combinant efficacité, robustesse et facilité d'intégration tout en garantissant une durée de vie des équipements industriels dans la normale.
Merci d'envoyer vos Cv et LM à : laurence.gabette@cea.fr
Profil recherché
Profil du candidat
Licence pro