Informations générales

Entité de rattachement

Le Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) est un organisme public de recherche.

Acteur majeur de la recherche, du développement et de l'innovation, le CEA intervient dans le cadre de ses quatre missions :
. la défense et la sécurité
. l'énergie nucléaire (fission et fusion)
. la recherche technologique pour l'industrie
. la recherche fondamentale (sciences de la matière et sciences de la vie).

Avec ses 16000 salariés -techniciens, ingénieurs, chercheurs, et personnel en soutien à la recherche- le CEA participe à de nombreux projets de collaboration aux côtés de ses partenaires académiques et industriels.

Référence

2020-13005

Description de l'unité

La réalisation de composants microélectroniques implique la superposition de niveaux successifs. Pour le bon fonctionnement du dispositif final, la structure d'un niveau doit être bien alignée avec celle du précédent. La mesure optique, nommée overlay (OVL), permet d'obtenir les valeurs de ce désalignement. Un modèle mathématique associé à la mesure OVL permet d'apporter une correction à la lithographie suivante pour une bonne superposition des niveaux. Comme la mesure optique est réalisée sur des marques dédiées, il reste un doute sur la valeur réelle du désalignement en un point actif du composant (ex: transistor). L'objet du l'alternance est d'estimer l'écart entre la mesure de l'OVL réel qui sera mesurée par microscopie électronique à balayage avec la valeur obtenue par le modèle optique.

Description du poste

Domaine

Instrumentation, métrologie et contrôle

Contrat

Alternance

Intitulé de l'offre

Alternance:Développement d'une technique de métrologie: mesure d'overlay H/F

Sujet de stage

Développement d'une technique de métrologie: mesure d'overlay dans le champ par microscopie électronique.

Durée du contrat (en mois)

10 à 12 mois

Description de l'offre